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熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置

熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置
Paper図書
大塚二郎, 静岡理工科大学 [著][大塚二郎]2002-2004<Y151-H14350076>
National Diet Library
  • Subject Heading熱変形 / サブナノメートル / 超精密位置決め / ビジュアルサーボ

アトムクラフトを支援する超精密安定2次元原子トラツキング制御の開発

アトムクラフトを支援する超精密安定2次元原子トラツキング制御の開発
Paper図書
高田, 孝次, 長岡技術科学大学2000-2001<Y151-H12650112>
National Diet Library
  • Subject Headingアトムクラフト SPM 原子トラツキング サブナノメートル位置決め

結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と側長・位置決めへの応用

結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と側長・位置決めへの応用
Paper図書
高田, 孝次, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650109>
National Diet Library
  • Subject Heading走査型トンネル顕微鏡 結晶格子 直動機構 サブナノメートル トラツキング制御

結晶格子とレ-ザ干渉計を複合したメ-トル定義に直結した小型絶対測長器の開発

結晶格子とレ-ザ干渉計を複合したメ-トル定義に直結した小型絶対測長器の開発
Paper図書
明田川, 正人, 長岡技術科学大学2001-2002<Y151-H13650114>
National Diet Library
  • Subject Headingサブナノメ-トル精度 結晶格子 レ-ザ干渉計 トレ-サビリテイ 走査型トンネ...

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