熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置

Call No. (NDL): Y151-H14350076
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007857540

Material type: 図書

Author: 大塚二郎, 静岡理工科大学 [著]

Publisher: [大塚二郎]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 98p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置
Title Transcription: ネツヘンケイドリフトタイサクオコウジタサブナノメートルブンカイノウノコガタチョウセイミツイチギメソウチ
Author/Editor: 大塚二郎, 静岡理工科大学 [著]
Author Heading: 大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )Authorities
静岡理工科大学シズオカリコウカダイガク ( 01177854 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [大塚二郎]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 98p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 熱変形 / サブナノメートル / 超精密位置決め / ビジュアルサーボネツヘンケイ / サブナノメートル / チョウセイミツイチギメ / ビジュアルサーボ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350076
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350076
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007857540
http://id.ndl.go.jp/bib/000007857540
Bibliographic Record Category (NDL): 214