熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置

• 資料種別: 図書
• タイトル: 熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置
• タイトルよみ: ネツ ヘンケイ ドリフト タイサク オ コウジタ サブナノメートル ブンカイノウ ノ コガタ チョウセイミツ イチギメ ソウチ
• 著者・編者: 大塚二郎, 静岡理工科大学 [著]
• 著者標目: 大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )典拠; 静岡理工科大学 シズオカ リコウカ ダイガク ( 01177854 )典拠
• 出版事項: [大塚二郎]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 98p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 熱変形 / サブナノメートル / 超精密位置決め / ビジュアルサーボ ネツ ヘンケイ / サブナノメートル / チョウセイミツ イチギメ / ビジュアルサーボ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350076
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350076
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007857540; http://id.ndl.go.jp/bib/000007857540
• 整理区分コード: 214