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アルミニウムの原子層堆積法の確立

アルミニウムの原子層堆積法の確立
Paper図書
今井, 茂, 立命館大学1997-1998<Y151-H09650371>
National Diet Library
  • Subject Heading原子層堆積 アルミニウム ジメチルアルミニウムハイドライド 原子状水素

放射光CVDにおける表面吸着分子の分子間相互作用の効果

放射光CVDにおける表面吸着分子の分子間相互作用の効果
Paper図書
宇理須, 恒雄, 岡崎国立共同研究機構1995-1997<Y151-H07650040>
National Diet Library
  • Subject Heading放射光 ジシラン ガスソースMBE 赤外表面反射吸収法 ジメチルアルミニウムハイドライド 内殻電子励起 カーボン汚染

軟X線を利用した光勃起プロセスの基礎研究 軟X線を利用した光励起プロセスの基礎研究

軟X線を利用した光勃起プロセスの基礎研究 軟X線を利用した光励起プロセスの基礎研究
Paper図書
英, 貢, 豊橋技術科学大学1995-1996<Y151-H07650033>
National Diet Library
  • Subject Heading光励起プロセス ハードフオトン X線分光 AlKα線 ジメチルアルミニウムハイドライド アルミ薄膜 吸着種 二次電子

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