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コンピユータシミユレーシヨンによる炉壁材料からの2次電子放出の研究

コンピユータシミユレーシヨンによる炉壁材料からの2次電子放出の研究
Paper図書
大宅, 薫, 徳島大学1994-1995<Y151-H06680481>
National Diet Library
  • Subject Heading2次電子放出 プラズマ表面相互作用 核融合 計算機シミユレーシヨン

核融合装置における周辺プラズマと対向壁の相互作用の計算機シミユレーシヨン

核融合装置における周辺プラズマと対向壁の相互作用の計算機シミユレーシヨン
Paper図書
大宅, 薫, 徳島大学1997-1998<Y151-H09680494>
National Diet Library
  • Subject Heading核融合 プラズマ・表面相互作用 計算機シミユレーシヨン スパツタリング 対向壁損耗 不純物...

超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発

超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発
Paper図書
菅井秀郎, 名古屋大学1989-1990<Y151-H01880002>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマプロセス プラズマエツチング プラズマCVD 表面磁場 多極磁場 高周波放電 フラグメンテーシヨン プラズマ・表面相互作用

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