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National Diet Library
- Subject Heading2次電子放出 プラズマ表面相互作用 核融合 計算機シミユレーシヨン
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- Subject Heading核融合 プラズマ・表面相互作用 計算機シミユレーシヨン スパツタリング 対向壁損耗 不純物...
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- Subject Headingプラズマプロセス プラズマエツチング プラズマCVD 表面磁場 多極磁場 高周波放電 フラグメンテーシヨン プラズマ・表面相互作用
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