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XeアシストMPCVDによる高品質ダイヤモンド薄膜の作製とMISFET応用

XeアシストMPCVDによる高品質ダイヤモンド薄膜の作製とMISFET応用
Paper図書
牧, 哲朗, 大阪大学1998-1999<Y151-H10450124>
National Diet Library
  • Subject Headingダイヤモンド薄膜 CVD Xe添加効果 MISFET フツ化物 プラズマ損傷

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
Paper図書
横山, 新, 広島大学1994-1996<Y151-H06555096>
National Diet Library
  • Subject Heading中速イオン散乱 イオン注入装置 飛行時間測定 表面損傷 不純物分布 半導体検出器 プラズマ損傷 スペクトルシミユレーシヨン

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
Digital文書・図像類
横山, 新, 廣瀬, 全孝, 宮崎, 誠一, 桜田, 勇蔵
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading... スペクトルシミュレーション プラズマ損傷 semiconductor detector time o...

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
Digital文書・図像類
横山, 新, 廣瀬, 全孝, 宮崎, 誠一, 桜田, 勇蔵
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  • Subject Heading... スペクトルシミュレーション プラズマ損傷 semiconductor detector time o...

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