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超高効率太陽電池作製のためのクラスタ反応制御プラズマCVD

超高効率太陽電池作製のためのクラスタ反応制御プラズマCVD
Paper図書
渡辺征夫, 九州大学 [著][渡辺征夫]2002-2004<Y151-H14205047>
National Diet Library
  • Subject Headingアモルファスシリコン / クラスタ抑制プラズマCVD法 / シリコン微粒子 / 薄膜太陽電池 / 光劣化 / Si...

マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成

マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成
Paper図書
甲斐, 綾子, 山口大学1995-1996<Y151-H07805032>
National Diet Library
  • Subject Heading窒化ガリウム マイクロ波プラズマCVD法 窒素プラズマ 結晶成長 フオトルミネツセンス 自由励起子

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発
Paper図書
下妻, 光夫, 北海道大学1990-1992<Y151-H02555056>
National Diet Library
  • Subject Heading低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガス ドライプロセス 薄膜堆積 アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 半導体低温プロセス RFプラズマCVD法

積層型アモルフアスシリコン電極を用いた湿式太陽電池による水の分解

積層型アモルフアスシリコン電極を用いた湿式太陽電池による水の分解
Paper図書
坪村, 宏, 大阪大学1987-1989<Y151-S62430002>
National Diet Library
  • Subject Headingアモルフアスシリコン 太陽電池 プラズマCVD法 光電気化学 金属微粒子 酸化物薄膜 半導体電極 水素発生

表面改質処理による複合機能化合金層の物性研究

表面改質処理による複合機能化合金層の物性研究
Paper図書
松田, 福久, 大阪大学1986-1989<Y151-S61420041>
National Diet Library
  • Subject Heading表面改質 複合機能化合金層 物性 レーザ合金化法 プラズマCVD法 プラズマイオン窒化法 マークスパツタリング法

プラズマＣＶＤ法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成

プラズマＣＶＤ法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成
Digital博士論文
小栗, 和幸
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject HeadingプラズマCVD法 TiN膜 TiC膜 アモルファスSi-C膜 DLC-Si膜

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