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SiGeデバイスの高性能化
SiGeデバイスの高性能化
Paper
図書
徳山, 順也, 熊本電波工業高等専門学校
1995-1997
<Y151-H07555105>
National Diet Library
Subject Heading
照射損傷 SiGe
ヘテロデバイス
電子線 陽子線 中性子線 粒子線 カーボン
ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究
ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究
Paper
図書
室田, 淳一, 東北大学
1992-1993
<Y151-H04452167>
National Diet Library
Subject Heading
シリコン シリコンーゲルマニウム ヘテロ構造
ヘテロデバイス
超微細デバイス CVD MOSFET
高分解能電子顕微鏡格子像による金属、半導体人工格子ヘテロ界面の構造解析
高分解能電子顕微鏡格子像による金属、半導体人工格子ヘテロ界面の構造解析
Paper
図書
市野瀬, 英喜, 東京大学
1986-1987
<Y151-S61460198>
National Diet Library
Subject Heading
ヘテロ接合 ヘテロ界面 歪超格子 高分解能電顕 格子像 原子ステツプ ガリユームヒ素 アルミニユームヒ素 結晶構造因子
ヘテロデバイス
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