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デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究
デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究
Paper
図書
黒岩, 紘一, 東京農工大学
1995-1997
<Y151-H07555418>
National Diet Library
Subject Heading
強誘電体薄膜 不揮発性メモリ PZT
ペロブスカイト型結晶
デジタルCVD
ゾル・ゲル法によるリラクサー型強誘電体薄膜の作製
ゾル・ゲル法によるリラクサー型強誘電体薄膜の作製
Paper
図書
小田克郎, 東京大学
1997-1999
<Y151-H09650756>
National Diet Library
Subject Heading
リラクサー型強誘電体 散漫相転移
ペロブスカイト型結晶
構造 強誘電特性 極微細構造 メスバウアー分光法
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