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極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発

極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発
Paper図書
木村, 健二, 京都大学2000-2001<Y151-H12555090>
National Diet Library
  • Subject Headingゲート酸窒化膜 窒素分布 高分解能 ラザフオード後方散乱法 SIMS AES

イオンビームを用いたナノ領域の化学形態分析法の開発

イオンビームを用いたナノ領域の化学形態分析法の開発
Paper図書
山崎浩道, 東北大学 [著][山崎浩道]2006-2007<Y151-H18360450>
National Diet Library
  • Subject Headingイオンビーム分析 / ナノビーム / 化学形態 / 荷電粒子励起X線分光法 / ラザフォード後方散乱法 / 透過イオン分光法

超小型高分解能RBS装置の試作に関する基礎研究

超小型高分解能RBS装置の試作に関する基礎研究
Paper図書
木村, 健二, 京都大学1997-1999<Y151-H09355003>
National Diet Library
  • Subject Heading高分解能 ラザフオード後方散乱法 超小型 組成分析 結晶性評価

高分解能RBS法を用いた極低エネルギーイオン注入の研究

高分解能RBS法を用いた極低エネルギーイオン注入の研究
Paper図書
木村, 健二, 京都大学1998-2000<Y151-H10450121>
National Diet Library
  • Subject Heading高分解能 ラザフオード後方散乱法 極低エネルギーイオン注入 Si (001) 非晶質化

イオン照射下における固体中原子移動機構の研究

イオン照射下における固体中原子移動機構の研究
Paper図書
藤野, 豐, 東北大学2001-2002<Y151-H13650712>
National Diet Library
  • Subject Headingイオンビ-ム-固体相互作用 TRIIM-CODE ラザフオ-ド後方散乱法 イオンチヤンネリング 転位 イオンビ-ム照射・注入 材料特...

癌治療用リン注入ガラスの物性

癌治療用リン注入ガラスの物性
Paper図書
小久保, 正, 京都大学1992-1994<Y151-H04559005>
National Diet Library
  • Subject Heading放射線療法 イオン注入 リン シリカガラス 癌 化学的耐久性 ラザフオード後方散乱法 フーリエ変換赤外スペクトル

深い準位の格子欠陥観測による半導体に対する各種放射線照射効果の解明

深い準位の格子欠陥観測による半導体に対する各種放射線照射効果の解明
Paper図書
木村, 逸郎, 京都大学1991-1992<Y151-H03452301>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体 放射線損傷 中性子転換注入 格子欠陥 容量過渡分光法 ラザフオード後方散乱法 チヤンネリング法

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