図書

極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発

Icons representing 図書

極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H12555090
Bibliographic ID of National Diet Library
000007082315
Material type
図書
Author
木村, 健二, 京都大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゴクウス ゲートサン チッカマク チュウ ノ チッソ ブンプ ノ テイリョウ ブンセキホウ ノ カイハツ
Author/Editor
木村, 健二, 京都大学
Author Heading
木村, 健二 キムラ, ケンジ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
ゲート酸窒化膜 ゲートサンチツカマク
窒素分布 チツソブンプ
高分解能 コウブンカイノウ
ラザフオード後方散乱法 ラザフオードコウホウサンランホウ
SIMS SIMS
AES AES