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極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発

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極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H12555090
国立国会図書館書誌ID
000007082315
資料種別
図書
著者
木村, 健二, 京都大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゴクウス ゲートサン チッカマク チュウ ノ チッソ ブンプ ノ テイリョウ ブンセキホウ ノ カイハツ
著者・編者
木村, 健二, 京都大学
著者標目
木村, 健二 キムラ, ケンジ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
ゲート酸窒化膜 ゲートサンチツカマク
窒素分布 チツソブンプ
高分解能 コウブンカイノウ
ラザフオード後方散乱法 ラザフオードコウホウサンランホウ
SIMS SIMS
AES AES