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シリコンカーバイドのエピ膜上に形成される表面欠陥の起源の解明とその除去方法の開発

シリコンカーバイドのエピ膜上に形成される表面欠陥の起源の解明とその除去方法の開発
Paper図書
岡田達也, 徳島大学 [著][岡田達也]2004-2007<Y151-H16560009>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコンカーバイド / 表面欠陥 / ジルコニア粒子 / フェムト秒レーザ / リップル構造

Atomic-Scale Analysis of Plasma-Surface Interactions and Formation Mechanisms of Profile Anomalies and Surface Roughness during Plasma Etching of Silicon

Atomic-Scale Analysis of Plasma-Surface Interactions and Formation Mechanisms of Profile Anomalies and Surface Roughness during Plasma Etching of Silicon
Digital博士論文障害者向け資料あり
Tsuda, Hirotaka2013-05-23
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Heading形状進展シミュレーション セルリムーバル法 分子動力学法 形状異常 表面ラフネス リップル構造

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