シリコンカーバイドのエピ膜上に形成される表面欠陥の起源の解明とその除去方法の開発

Call No. (NDL): Y151-H16560009
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009479656

Material type: 図書

Author: 岡田達也, 徳島大学 [著]

Publisher: [岡田達也]

Publication date: 2004-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 44p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: シリコンカーバイドのエピ膜上に形成される表面欠陥の起源の解明とその除去方法の開発
Title Transcription: シリコンカーバイドノエピマクジョウニケイセイサレルヒョウメンケッカンノキゲンノカイメイトソノジョキョホウホウノカイハツ
Author/Editor: 岡田達也, 徳島大学 [著]
Author Heading: 岡田, 達也オカダ, タツヤ
徳島大学トクシマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [岡田達也]
Publication Date: 2004-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2007
Extent: 44p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: シリコンカーバイド / 表面欠陥 / ジルコニア粒子 / フェムト秒レーザ / リップル構造シリコンカーバイド / ヒョウメンケッカン / ジルコニアリュウシ / フェムトビョウレーザ / リップルコウゾウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560009
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560009
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009479656
http://id.ndl.go.jp/bib/000009479656
Bibliographic Record Category (NDL): 214