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シリコンカーバイドのエピ膜上に形成される表面欠陥の起源の解明とその除去方法の開発

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シリコンカーバイドのエピ膜上に形成される表面欠陥の起源の解明とその除去方法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H16560009
国立国会図書館書誌ID
000009479656
資料種別
図書
著者
岡田達也, 徳島大学 [著]
出版者
[岡田達也]
出版年
2004-2007
資料形態
ページ数・大きさ等
44p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコン カーバイド ノ エピマクジョウ ニ ケイセイサレル ヒョウメン ケッカン ノ キゲン ノ カイメイ ト ソノ ジョキョ ホウホウ ノ カイハツ
著者・編者
岡田達也, 徳島大学 [著]
著者標目
岡田, 達也 オカダ, タツヤ
徳島大学 トクシマ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2007
2008.5
出版年(W3CDTF)
2004
2007
数量
44p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)