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TSCとTL同時測定による薄膜誘電体電極界面に形成されるトラツプ準位測定法の確立
TSCとTL同時測定による薄膜誘電体電極界面に形成されるトラツプ準位測定法の確立
Paper
図書
桜井, 修, 東京工業大学
1998-1999
<Y151-H10650664>
National Diet Library
Subject Heading
チタン酸鉛 熱刺激電流測定 強誘電体薄膜 トラツプ準位
リーク特性
光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用
光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用
Paper
図書
塩崎, 忠, 京都大学
1992-1993
<Y151-H04452176>
National Diet Library
Subject Heading
PZT薄膜 光MOCVD オゾン
リーク特性
絶縁破壊電圧 バツフア層 スイツチング速度 ドメイン
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