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界面重合法による誘電体厚膜の作製とマイクロマシン用アクチユエータへの応用

界面重合法による誘電体厚膜の作製とマイクロマシン用アクチユエータへの応用
Paper図書
山根, 正之, 東京工業大学1997-1999<Y151-H09555189>
National Diet Library
  • Subject Heading圧電体 強誘電体 圧電アクチユエーター レーザ干渉計 厚膜 ゾルーゲル法

結晶格子とレ-ザ干渉計を複合したメ-トル定義に直結した小型絶対測長器の開発

結晶格子とレ-ザ干渉計を複合したメ-トル定義に直結した小型絶対測長器の開発
Paper図書
明田川, 正人, 長岡技術科学大学2001-2002<Y151-H13650114>
National Diet Library
  • Subject Headingサブナノメ-トル精度 結晶格子 レ-ザ干渉計 トレ-サビリテイ 走査型トンネル顕微鏡 (STM) 原子間...

非軸対称非球面の形状計測に関する研究

非軸対称非球面の形状計測に関する研究
Paper図書
原田, 達男, 東京都立大学1993-1994<Y151-H05452140>
National Diet Library
  • Subject Heading非軸対称非球面 トロイド面 円筒面 斜入射光学系 形状計測 レーザ干渉計 軟X線光学

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