界面重合法による誘電体厚膜の作製とマイクロマシン用アクチユエータへの応用

• Material Type: 図書
• Title: 界面重合法による誘電体厚膜の作製とマイクロマシン用アクチユエータへの応用
• Title Transcription: カイメン ジュウゴウホウ ニ ヨル ユウデンタイ アツマク ノ サクセイ ト マイクロマシンヨウ アクチユエータ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 山根, 正之, 東京工業大学
• Author Heading: 山根, 正之 ヤマネ, マサユキ
• Publication Date: 1997-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 圧電体 アツデンタイ; 強誘電体 キヨウユウデンタイ; 圧電アクチユエーター アツデンアクチユエーター; レーザ干渉計 レーザカンシヨウケイ; 厚膜 アツマク; ゾルーゲル法 ゾルーゲルホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555189
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09555189
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007056527; http://id.ndl.go.jp/bib/000007056527
• Bibliographic Record Category (NDL): 214