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界面重合法による誘電体厚膜の作製とマイクロマシン用アクチユエータへの応用

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界面重合法による誘電体厚膜の作製とマイクロマシン用アクチユエータへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555189
国立国会図書館書誌ID
000007056527
資料種別
図書
著者
山根, 正之, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カイメン ジュウゴウホウ ニ ヨル ユウデンタイ アツマク ノ サクセイ ト マイクロマシンヨウ アクチユエータ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
山根, 正之, 東京工業大学
著者標目
山根, 正之 ヤマネ, マサユキ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
圧電体 アツデンタイ
強誘電体 キヨウユウデンタイ
圧電アクチユエーター アツデンアクチユエーター
レーザ干渉計 レーザカンシヨウケイ
厚膜 アツマク
ゾルーゲル法 ゾルーゲルホウ