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三次元軸配向
した多結晶シリコン薄膜の開発とその結晶成長メカニズムの解明
三次元軸配向した多結晶シリコン薄膜の開発とその結晶成長メカニズムの解明
Digital
文書・図像類
狄, 国慶, Di, G.Q.
2016-04-21
平成7(1995)年度 科学研究費補助金 一般研究(C) 研究概要 = 1995 Research Project Summary
1995
p.2p.-
Other Libraries in Japan
Subject Heading
多結晶シリコン薄膜
三次元軸配向
表面観察 結晶粒形状 結晶成長 原子間力顕微鏡
Note (General)
...ける結晶粒がほぼ均一の大きさで
三次元軸配向
して成長することを本グループが...
...):1995 出典：研究課題「
三次元軸配向
した多結晶シリコン薄膜の開発とその結晶成長メカニズムの解明」...
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