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バルク単結晶作製における熱・物質移動現象に関する研究

バルク単結晶作製における熱・物質移動現象に関する研究
Paper図書
福田, 承生, 東北大学1997-1998<Y151-H09044123>
National Diet Library
  • Subject Headingバルク単結晶作製 熱・物質移動現象 フツ化物結晶 不純物分布の解析

微小重力下での無容器成長による高品質半導体の結晶成長

微小重力下での無容器成長による高品質半導体の結晶成長
Paper図書
西永, 頌, 東京大学1998-1999<Y151-H10044131>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクログラビテイ GaSb ブリツジマン成長 無歪成長 X線トポグラフ 転位密度 マランゴニ対流 不純物分布

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
Paper図書
横山, 新, 広島大学1994-1996<Y151-H06555096>
National Diet Library
  • Subject Heading中速イオン散乱 イオン注入装置 飛行時間測定 表面損傷 不純物分布 半導体検出器 プラズマ損傷 スペクトルシミユレーシヨン

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
Digital文書・図像類
横山, 新, 廣瀬, 全孝, 宮崎, 誠一, 桜田, 勇蔵
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading表面損傷 中速イオン散乱 イオン注入装置 飛行時間測定 不純物分布 半導体検出器 スペクトルシミュレーション プラズマ損傷 s...

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
Digital文書・図像類
横山, 新, 廣瀬, 全孝, 宮崎, 誠一, 桜田, 勇蔵
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  • Subject Heading表面損傷 中速イオン散乱 イオン注入装置 飛行時間測定 不純物分布 半導体検出器 スペクトルシミュレーション プラズマ損傷 s...

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