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新機能性
五酸化タンタル
薄膜の作成とその通信素子への応用
新機能性五酸化タンタル薄膜の作成とその通信素子への応用
Paper
図書
中川, 恭彦, 山梨大学
1988-1989
<Y151-S63460116>
National Diet Library
Subject Heading
弾性表面波
五酸化タンタル
強弾性 圧電性薄膜
圧電性
五酸化タンタル
/パイレツクスガラス構造超音波デバイスの試作
圧電性五酸化タンタル/パイレツクスガラス構造超音波デバイスの試作
Paper
図書
山口, 正恆, 千葉大学
1993-1994
<Y151-H05650324>
National Diet Library
Subject Heading
五酸化タンタル
超音波トランスジユーサ 酸化亜鉛 圧電性 共振子 スパツタ...
新圧電性
五酸化タンタル
単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
Paper
図書
中川, 恭彦, 山梨大学
1985-1986
<Y151-S60460119>
National Diet Library
Subject Heading
弾性表面波
五酸化タンタル
圧電性薄膜 スパツタリング
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