新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
Title Transcription: シンアツデンセイゴサンカタンタルタンケッショウハクマクノサクセイホウトショトクセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中川, 恭彦, 山梨大学
Author Heading: 中川, 恭彦ナカガワ, ヤスヒコ
Publication Date: 1985-1986
Publication Date (W3CDTF): 1985
Extent: 冊
Subject Heading: 弾性表面波ダンセイヒヨウメンハ
五酸化タンタル 5サンカタンタル
圧電性薄膜アツデンセイハクマク
スパツタリングスパツタリング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60460119
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S60460119
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007023726
http://id.ndl.go.jp/bib/000007023726
Bibliographic Record Category (NDL): 214