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図書
新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
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新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
国立国会図書館請求記号
Y151-S60460119
国立国会図書館書誌ID
000007023726
資料種別
図書
著者
中川, 恭彦, 山梨大学
出版者
-
出版年
1985-1986
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
タイトルよみ
シン アツデンセイ ゴ サンカ タンタルタンケッショウ ハクマク ノ サクセイホウ ト ショ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
中川, 恭彦, 山梨大学
著者標目
中川, 恭彦
ナカガワ, ヤスヒコ
出版年月日等
1985-1986
出版年(W3CDTF)
1985
数量
冊
件名標目
弾性表面波
ダンセイヒヨウメンハ
五酸化タンタル
5サンカタンタル
圧電性薄膜
アツデンセイハクマク
スパツタリング
スパツタリング
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
60460119
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-S60460119
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007023726
http://id.ndl.go.jp/bib/000007023726
整理区分コード
214
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