新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新圧電性五酸化タンタル単結晶薄膜の作成法と諸特性に関する研究
• タイトルよみ: シン アツデンセイ ゴ サンカ タンタルタンケッショウ ハクマク ノ サクセイホウ ト ショ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 中川, 恭彦, 山梨大学
• 著者標目: 中川, 恭彦 ナカガワ, ヤスヒコ
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: 弾性表面波 ダンセイヒヨウメンハ; 五酸化タンタル 5サンカタンタル; 圧電性薄膜 アツデンセイハクマク; スパツタリング スパツタリング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60460119
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60460119
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007023726; http://id.ndl.go.jp/bib/000007023726
• 整理区分コード: 214