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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading原子層エツチング シリコン 自己制限型 ECRプラズマ 塩素 低エネルギーイオン照射 ゲルマニウム 極微細MOS
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- Subject Headingプラズマー材料相互作用 反射 透過 質量分析 トリチウム 核融合粒子制御 低エネルギーイオン照射 計算機シミユレーシヨン
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