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垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発
垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発
Paper
図書
松浦, 孝, 東北大学
1994-1996
<Y151-H06555089>
National Diet Library
Subject Heading
原子層エツチング シリコン 自己制限型 ECRプラズマ 塩素
低エネルギーイオン照射
ゲルマニウム 極微細MOS
次世代のプラズマ対向材料-燃料粒子相互作用の研究
次世代のプラズマ対向材料-燃料粒子相互作用の研究
Paper
図書
山脇, 道夫, 東京大学
1995-1997
<Y151-H07045020>
National Diet Library
Subject Heading
プラズマー材料相互作用 反射 透過 質量分析 トリチウム 核融合粒子制御
低エネルギーイオン照射
計算機シミユレーシヨン
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