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垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発

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垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発

Call No. (NDL)
Y151-H06555089
Bibliographic ID of National Diet Library
000006997349
Material type
図書
Author
松浦, 孝, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1994-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイチョクキョク ビサイ カコウ カノウ ナ Si ノ ジコ セイゲンガタ ゲンシソウ エツチング ギジュツ ノ カイハツ
Author/Editor
松浦, 孝, 東北大学
Author Heading
松浦, 孝 マツウラ, タカシ
Publication Date
1994-1996
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
原子層エツチング ゲンシソウエツチング
シリコン シリコン
自己制限型 ジコセイゲンガタ
ECRプラズマ ECRプラズマ
塩素 エンソ
低エネルギーイオン照射 テイエネルギーイオンシヨウシヤ
ゲルマニウム ゲルマニウム
極微細MOS キヨクビサイMOS