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垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発

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垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555089
国立国会図書館書誌ID
000006997349
資料種別
図書
著者
松浦, 孝, 東北大学
出版者
-
出版年
1994-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スイチョクキョク ビサイ カコウ カノウ ナ Si ノ ジコ セイゲンガタ ゲンシソウ エツチング ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
松浦, 孝, 東北大学
著者標目
松浦, 孝 マツウラ, タカシ
出版年月日等
1994-1996
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
原子層エツチング ゲンシソウエツチング
シリコン シリコン
自己制限型 ジコセイゲンガタ
ECRプラズマ ECRプラズマ
塩素 エンソ
低エネルギーイオン照射 テイエネルギーイオンシヨウシヤ
ゲルマニウム ゲルマニウム
極微細MOS キヨクビサイMOS