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光MOCVD法による配向制御ZnO透明導電膜の開発

光MOCVD法による配向制御ZnO透明導電膜の開発
Paper図書
高橋, 清, 帝京科学大学1994-1996<Y151-H06555090>
National Diet Library
  • Subject HeadingZnO 透明導電膜 太陽電池 MOCVD法 光MOCVD法 ALD法 光ALD法

光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用

光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用
Paper図書
塩崎, 忠, 京都大学1992-1993<Y151-H04452176>
National Diet Library
  • Subject HeadingPZT薄膜 光MOCVD オゾン リーク特性 絶縁破壊電圧 バツフア層 スイツチング...

スーパーフアインセラミツクスの概念設計と要素技術の開発

スーパーフアインセラミツクスの概念設計と要素技術の開発
Paper図書
鯉沼, 秀臣, 東京工業大学1992-<Y151-H02403018>
National Diet Library
  • Subject Headingスーパーフアインセラミツクス 原子層制御 2次元エピタキシヤル成長 RHEED振動 レーザーMBE 光MOCVD 高温超伝導酸化物 セラミツクス人工格子

光MOCVD法による機能性セラミツク薄膜の作製と光機能素子への応用

光MOCVD法による機能性セラミツク薄膜の作製と光機能素子への応用
Paper図書
塩崎, 忠, 京都大学1989-1991<Y151-H01460141>
National Diet Library
  • Subject Heading光MOCVD法 酸化亜鉛 チタン酸鉛 チタン酸ジルコン酸鉛 機能性セラミ...

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