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Paper図書
National Diet Library
- Subject Headingゲート絶縁膜 / 高誘電率材料 / ハフニウムシリケート / ジルコニウムシリケート / ハフニア / ジルコニア / プラズマ化学気相堆積法 / フォトルミネセンス
Digital博士論文
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- Subject Headingマイクロプラズマ 大気圧プラズマ プラズマジェット ミリ波透過特性診断法 化学気相堆積法
Digital文書・図像類
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- Subject Heading...ードアルゴリズム モデリング 化学気相堆積法 化学気相成長法 反応工学 反応機構 実数値遺伝的アルゴリズ...