Search results for "単色化" | NDL Search

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Paper図書

後藤, 俊夫, 名古屋大学1999-2001<Y151-H11305004>

National Diet Library

Paper図書

高見, 保清, 立教大学1993-1995<Y151-H05650939>

National Diet Library

Digital文書・図像類

後藤, 俊夫, 堀, 勝, 伊藤, 昌文2002-03

Available onlineOther Libraries in Japan

Summary, etc.プラズマ中のラジカルの単色化をガスとプラズマとの組み合わせ......ラジカルに対して密度を増やす(単色化する)ことと、イオンに対する中......に増加できることを見出し、この単色化ラジカルプロセスを用いることにより低誘電率有機薄膜の異方性極...
Subject Heading...プラズマプロセスラジカル単色化気相反応電子温度

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