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新規合成に立脚した1次,2次構造を有する高性能ガス分離膜の作成

新規合成に立脚した1次,2次構造を有する高性能ガス分離膜の作成
Paper図書
加藤, 政雄, 東京理科大学1993-1995<Y151-H05555252>
National Diet Library
  • Subject Headingガス分離膜 含ケイ素ポリマー 新規合成 反応性含ケイ素ポリマー 界面重合膜

サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発

サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発
Paper図書
松田, 実, 東北大学1990-1991<Y151-H02555181>
National Diet Library
  • Subject Headingポジ型レジスト サブハーフミクロン ポリスルホン 電子線レジスト 耐酸素プラズマ性 含ケイ素ポリマー

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