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ナノアブレージヨンによる硬脆材料の超精密仕上げ加工に関する研究

ナノアブレージヨンによる硬脆材料の超精密仕上げ加工に関する研究
Paper図書
堀内, 宰, 豊橋技術科学大学1998-2000<Y151-H10450056>
National Diet Library
  • Subject Heading噴射加工 超精密加工 硬脆材料 微細加工

アブレイシブ・ジエツト・マシニング装置の小型,高精度化の試みとその評価装置の試作

アブレイシブ・ジエツト・マシニング装置の小型,高精度化の試みとその評価装置の試作
Paper図書
厨川, 常元, 東北大学1997-1998<Y151-H09555035>
National Diet Library
  • Subject HeadingAJM 噴射加工 粉体搬送装置 シユリーレン ノズル セラミツクス 固気2相...

マイクロアイスジエツトの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

マイクロアイスジエツトの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用
Paper図書
厨川, 常元, 東北大学1999-2000<Y151-H11450051>
National Diet Library
  • Subject Headingアブレイシブジエツト加工 噴射加工 層間絶縁膜 アイスジエツト ばり取り 選択的加工 ビア 洗...

砥粒回収方式による超微細表面噴射加工の開発

砥粒回収方式による超微細表面噴射加工の開発
Paper図書
花岡, 忠昭, 千葉大学1987-1988<Y151-S62460080>
National Diet Library
  • Subject Heading噴射加工 表面加工 砥粒回収方式 遊離砥粒

微細穴内面の超精密加工技術に関する研究

微細穴内面の超精密加工技術に関する研究
Paper図書
佐藤, 元太郎, 信州大学1987-1988<Y151-S62550092>
National Diet Library
  • Subject Heading砥粒加工 液体ホーニング 超精密加工 噴射加工 エロージヨン 流体輸送 内面加工 研削加工

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