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- Subject Heading回転非同期振れ / NRRO / 潤滑変動 / 回転精度測定 / 保持器公転周期振れ / ナノメータ
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- Subject Headingマイクロ工作機械 / マイクロファクトリ / マイクロスピンドル / 主軸回転精度 / 光学的測定法 / 加工精度
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- Subject Heading静圧気体軸受 回転精度 製作誤差 精度設計 軸受設計法 真円度誤差
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- Subject Heading回転精度 固有誤差 静圧軸受 総合評価 ラジアルモーシヨン コニカル...
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- Subject Heading空気静圧軸受 無限剛性 自動調整絞り 排気制御絞り 静圧式自動調整絞り 回転精度
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- Subject Heading気体軸受 静圧軸受 回転精度 軸受製作誤差 軸受剛性と減衰係数 精度設計 表面粗さ
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- Subject Heading超精密切削 超精密工作機械 加工精度 運動精度 形状精度 回転精度 直進精度
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- Subject Heading回転体の振動 玉軸受 機械要素 回転精度 計算機シミユレーシヨン 不規則振動 カオス
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- Subject Headingナノダイナミツクス 静圧エアスピンドル 浮動ヘツド機構 磁気デイスクスピンドル 回転精度 振動特性 精密振動測定 モード解析