ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作

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Material Type: 図書
Title: ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作
Title Transcription: ナノメートルセイドオユウスルジキジクウケノシサク
Author/Editor: 進士, 忠彦, 東京工業大学
Author Heading: 進士, 忠彦シンシ, タダヒコ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 磁気軸受ジキジクウケ
静電容量型変位計セイデンヨウリヨウガタヘンイケイ
位置決め精度イチギメセイド
回転精度カイテンセイド
真円度シンエンド
ナノメートルナノメートル
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555049
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11555049
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007073224
http://id.ndl.go.jp/bib/000007073224
Bibliographic Record Category (NDL): 214