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ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作

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ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H11555049
国立国会図書館書誌ID
000007073224
資料種別
図書
著者
進士, 忠彦, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノメートル セイド オ ユウスル ジキ ジクウケ ノ シサク
著者・編者
進士, 忠彦, 東京工業大学
著者標目
進士, 忠彦 シンシ, タダヒコ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
磁気軸受 ジキジクウケ
静電容量型変位計 セイデンヨウリヨウガタヘンイケイ
位置決め精度 イチギメセイド
回転精度 カイテンセイド
真円度 シンエンド
ナノメートル ナノメートル