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不均一密度磁化プラズマ中における単極ドリフト渦の動的性質の研究
不均一密度磁化プラズマ中における単極ドリフト渦の動的性質の研究
Paper
図書
佐伯, 紘一, 静岡大学
2000-2001
<Y151-H12680478>
National Diet Library
Subject Heading
不
均一密度プラズマ
ドリフト波 ドリフト波渦 単極渦 プラズマ閉じ込め 電子反...
大直径ウエハエツチング用円環スロツトアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発
大直径ウエハエツチング用円環スロツトアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発
Paper
図書
藤田, 寛治, 佐賀大学
1994-1995
<Y151-H06558065>
National Diet Library
Subject Heading
大面積プラズマ 高密度プラズマ
均一密度プラズマ
円環スロツトアンテナ リング状永久磁石 負イオン
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