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National Diet Library
- Subject Heading圧電アクチユエータ 変位拡大 FEM解析 弾性ヒンジ 精密位置決め 変位拡大率
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- Subject Heading精密位置決め XYテーブル 変位拡大てこ 軸間干渉率 弾性ヒンジ 剛性 圧電素子 変位センサ
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- Subject Heading位置決め 平行ばね 干渉 変位拡大 XYZテーブル 弾性ヒンジ 圧電素子 加工誤差