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衛星帯電防止電子エミッタフィルムの性能評価と実用化に関する研究

衛星帯電防止電子エミッタフィルムの性能評価と実用化に関する研究
Digital博士論文障害者向け資料あり
田中, 有十夢2018-03-23
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Heading衛星帯電 ESD 帯電緩和 ELFs-charm サブストーム

負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発

負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1993-1994<Y151-H05555008>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオン注入 負イオンビーム輸送 チヤージアツプ 二次電子エネルギー分布 二次電子放出比 帯電緩和 絶縁物 ゲート酸化膜

高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用

高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用
Digital博士論文
酒井, 滋樹京都大学 (Kyoto University)2009-03-23
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Headingイオン注入 極浅接合形成 帯電緩和 高周波プラズマ

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