負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: 負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発
• Title Transcription: フイオンビーム ニ ヨル チヤージアツプ ・ フリー ・ イオン チュウニュウ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 石川, 順三, 京都大学
• Author Heading: 石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )Authorities
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 負イオン注入 フイオンチユウニユウ; 負イオンビーム輸送 フイオンビームユソウ; チヤージアツプ チヤージアツプ; 二次電子エネルギー分布 ニジデンシエネルギーブンプ; 二次電子放出比 ニジデンシホウシユツヒ; 帯電緩和 タイデンカンワ; 絶縁物 ゼツエンブツ; ゲート酸化膜 ゲートサンカマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555008
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05555008
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006991789; http://id.ndl.go.jp/bib/000006991789
• Bibliographic Record Category (NDL): 214