図書

負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発

図書を表すアイコン

負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H05555008
国立国会図書館書誌ID
000006991789
資料種別
図書
著者
石川, 順三, 京都大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
フイオンビーム ニ ヨル チヤージアツプ ・ フリー ・ イオン チュウニュウ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
石川, 順三, 京都大学
著者標目
石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )典拠
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
負イオン注入 フイオンチユウニユウ
負イオンビーム輸送 フイオンビームユソウ
チヤージアツプ チヤージアツプ
二次電子エネルギー分布 ニジデンシエネルギーブンプ
二次電子放出比 ニジデンシホウシユツヒ
帯電緩和 タイデンカンワ
絶縁物 ゼツエンブツ
ゲート酸化膜 ゲートサンカマク