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大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発
大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発
Paper
図書
江田, 弘, 茨城大学
1999-2001
<Y151-H11792007>
National Diet Library
Subject Heading
シリコンウエハ 超磁歪材料
微小位置決め
装置 姿勢制御 固定砥粒 研削加工 局所クリーンルーム 省エ...
圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発
圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発
Paper
図書
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
1999-2000
<Y151-H11650118>
National Diet Library
Subject Heading
レーザートラツキング 圧電素子
微小位置決め
微動ステージ 多自由度位置決め 空間座標測定 非接触測定 ...
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