大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発
Title Transcription: ダイコウケイ Si ウエハタイオウノ 2003 ネンジツヨウ one-stop カコウキカイオヨビチュウカクギジュツノカイハツ
Author/Editor: 江田, 弘, 茨城大学
Author Heading: 著者：江田, 弘, 1942- エダ, ヒロシ, 1942- ( 00319109 )Authorities
茨城大学イバラキダイガク ( 00284213 )Authorities
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目地域連携推進研究費
Subject Heading: シリコンウエハシリコンウエハ
超磁歪材料チヨウジワイザイリヨウ
微小位置決め装置ビシヨウイチギメソウチ
姿勢制御シセイセイギヨ
固定砥粒コテイトリユウ
研削加工ケンサクカコウ
局所クリーンルームキヨクシヨクリーンルーム
省エネシヨウエネ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11792007
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11792007
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007081579
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081579
Bibliographic Record Category (NDL): 214