大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発
• タイトルよみ: ダイコウケイ Si ウエハ タイオウ ノ 2003 ネン ジツヨウ one-stop カコウ キカイ オヨビ チュウカク ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 江田, 弘, 茨城大学
• 著者標目: 著者 ： 江田, 弘, 1942- エダ, ヒロシ, 1942- ( 00319109 )典拠; 茨城大学 イバラキ ダイガク ( 00284213 )典拠
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 地域連携推進研究費
• 件名標目: シリコンウエハ シリコンウエハ; 超磁歪材料 チヨウジワイザイリヨウ; 微小位置決め装置 ビシヨウイチギメソウチ; 姿勢制御 シセイセイギヨ; 固定砥粒 コテイトリユウ; 研削加工 ケンサクカコウ; 局所クリーンルーム キヨクシヨクリーンルーム; 省エネ シヨウエネ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11792007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11792007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007081579; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081579
• 整理区分コード: 214