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Digital文書・図像類
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- Subject HeadingECRプラズマ 有機シランガス 非晶質膜 プラズマ発光文光 微結晶SiC ヘテロ接合
- Note (General)...より大幅な低低抗化が期待できる微結晶SiCの作製を試みた。400℃という......いことを明らかにした。このn型微結晶SiCとp型Siとの間でpnヘテロ接合ダイオードを作製したところ、...
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