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原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究
原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究
Paper
図書
横山, 新, 広島大学
1999-2001
<Y151-H11450125>
National Diet Library
Subject Heading
シリコン選択成長 原子層成長 自己停止機構 塩化
水素脱離反応
2インチSiウエハ ガスフロ-パタ-ン 金属触媒 光・熱触...
表面電子分光による半導体表面化学反応の放射光励起効果と反応機構の研究
表面電子分光による半導体表面化学反応の放射光励起効果と反応機構の研究
Paper
図書
末光, 眞希, 東北大学
1994-1996
<Y151-H06402022>
National Diet Library
Subject Heading
光励起プロセス 半導体結晶成長 紫外光電子分光
水素脱離反応
その場観察 気相成長 光電子強度振動 Si (100)
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