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原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

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原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

Call No. (NDL)
Y151-H11450125
Bibliographic ID of National Diet Library
000007083323
Material type
図書
Author
横山, 新, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゲンシソウ センタク セイチョウ オ リヨウ シタ チョウビサイ トランジスタ サクセイホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
横山, 新, 広島大学
Author Heading
横山, 新 ヨコヤマ, シン
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコン選択成長 シリコンセンタクセイチヨウ
原子層成長 ゲンシソウセイチヨウ
自己停止機構 ジコテイシキコウ
塩化水素脱離反応 エンカスイソダツリハンノウ
2インチSiウエハ 2インチSIウエハ
ガスフロ-パタ-ン ガスフロ-パタ-ン
金属触媒 キンゾクシヨクバイ
光・熱触媒反応 ヒカリ・ネツシヨクバイハンノウ