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PL法によるSi中のSbドナー定量分析

PL法によるSi中のSbドナー定量分析
Digital規格・テクニカルリポート類
林, 大吾九州大学応用力学研究所2025-07九州大学応用力学研究所技術室 技術室報告7p.1-6
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Summary, etc....晶のPL測定を行うことで、Sb濃度定量測定のための検量線を作成した。また、PとSbが共存する試料に...
  • Subject Heading半導体 シリコン アンチモン（Sb） フォトルミネッセンス 分光分析 濃度定量

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