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負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1996-1997<Y151-H08555172>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオン注入 粉体 微粒子 無帯電 無飛散 撹拌 均一注入処理 球体に対する注入分布

物性制御を目指した負イオンビーム技術の確立

物性制御を目指した負イオンビーム技術の確立
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1993-1995<Y151-H05402027>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオン源 負イオン注入 帯電 絶縁物 無帯電 粒子飛散 電気二重層 物性制御

負イオンビーム材料プロセス技術

負イオンビーム材料プロセス技術
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1996-1997<Y151-H08044140>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオンビーム 材料プロセス技術 負イオンビーム蒸着 準安定物質 負イオン注入 無帯電イオン注入 無飛散粉体微粒子負イオン注入 生体適合性制御

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