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負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

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負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H08555172
Bibliographic ID of National Diet Library
000007013402
Material type
図書
Author
石川, 順三, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1996-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
フイオンビーム ニ ヨル フンタイ ビリュウシ ヘ ノ ムタイデン ・ ムヒサン イオン チュウニュウホウ ノ カイハツ
Author/Editor
石川, 順三, 京都大学
Author Heading
著者 : 石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )Authorities
Publication Date
1996-1997
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
負イオン注入 フイオンチユウニユウ
粉体 フンタイ
微粒子 ビリユウシ
無帯電 ムタイデン
無飛散 ムヒサン
撹拌 カクハン
均一注入処理 キンイツチユウニユウシヨリ
球体に対する注入分布 キユウタイニタイスルチユウニユウブンプ