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負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

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負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H08555172
国立国会図書館書誌ID
000007013402
資料種別
図書
著者
石川, 順三, 京都大学
出版者
-
出版年
1996-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
フイオンビーム ニ ヨル フンタイ ビリュウシ ヘ ノ ムタイデン ・ ムヒサン イオン チュウニュウホウ ノ カイハツ
著者・編者
石川, 順三, 京都大学
著者標目
著者 : 石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )典拠
出版年月日等
1996-1997
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
負イオン注入 フイオンチユウニユウ
粉体 フンタイ
微粒子 ビリユウシ
無帯電 ムタイデン
無飛散 ムヒサン
撹拌 カクハン
均一注入処理 キンイツチユウニユウシヨリ
球体に対する注入分布 キユウタイニタイスルチユウニユウブンプ